日本三豐LGH測頭高精度激光全息光柵式測微儀（0.005um分辨率）LGH-0510-B-EH/542-720/542-721
產品特點：
1.裝配了采用新的光電式反射型線性編碼器的高精度測量機。緊湊型機身配合測微頭，與以前的激光測長機等機器裝備組合，大幅削減成本的同時，也為裝置小型化做出巨大貢獻。可以作為高精度零部件的測量和高精度定位、控制裝置的測長傳感器，也適合作為測量機設備的基準規。
2. 也具有低測力規格產品：根據用途可以選擇低測力規格，可以測量易變形工件和高性能膠片等。
3. LGH 系列是與專用計數器的組合規格。
4.裝配新開發的超高精度透射型線性編碼器，實現0.005μm(5nm) 的高分辨力
5.在測量范圍10mm 的寬范圍內實現了指示精度0.1μm。適用于標準規的校正· 賦值，以及用于測量機的基準器
技術參數：
型式 | LGH-0510-B-EH ( 標準型) | LGH-0510C-B-EH ( 低測力型 ) *2 | ||
貨號 | 542-720 | 542-721 | ||
測量范圍 | 10mm | |||
分辨力 | 0.005m ( 0.01m, 0.05m, 0.1m用計數器可切換) | |||
指示精度(20°C) | 0.1m | |||
重復精度(2σ)0.02 | 0.02um | 0.02um | ||
量化誤差 | 0.05um | 0.05um | ||
測桿朝下 | 約0.65N以下 | 約0.1N以下 | ||
測力 | 水平 | 約0.55N以下 | 使用不可 | |
測桿朝上 | 約0.45N以下 | 使用不可 | ||
位置檢出方式 | 超高精度透射型線性編碼器 | 超高精度透射型線性編碼器 | ||
存儲溫度（濕度）范圍 | -10°C～60°C/20～80%(無冷凝） | -10°C～60°C/20～80%(無冷凝） | ||
響應速度 | 250mm/s | 250mm/s | ||
重量 | 約370g | 約370g | ||
塵 / 水防護等級*1 | 達到IP54防護等級 | — | ||
測頭 | 硬質合金SR5(M2.5(P=0.45)×5)標準測頭No.120058 | |||
裝夾套筒 | 直徑15mm | |||
軸承類型 | 高精度線性滾珠軸承 | |||
輸出電纜長度 | 約2m | |||
接口 | RS-232C USB (SENSORPAK專用)Digimatic輸出（打印機：DP-1VALOGGER）I/O電纜 | |||
運行溫度(濕度)范圍 | 15～25C(基準溫度度20°C)/30～60%RH(無冷凝) | |||
專用計數器規格：
量化誤差±1
分辨力 ±99.999995mm
功能 調零，預調、方向轉換、公差判定（3段/5段）、RS-RINK
接口 RS-232C/ 數顯 /USB ( SENSORPAK )
電源 附帶 AC 適配器 , DC ＋ 12 ～ 24V, MAX700mA
功耗8.4W ( MAX 700mA )
每個裝置的可靠供電應在 1A 以上
外形尺寸 144 ( W ) × 157 ( D ) × 75 ( H )
重量 約 900g ( 不包括 AC 適配器 )
標準配件
扳手 ( 用于更換測頭 ) ，橡膠腳墊，支架，墊圈 ( 用于計數器 ) ， AC 適配器，
交流電源線， DC 插頭，用戶手冊，檢驗證書
